产品中心
飞照新材电子束光刻胶的PMMA系列可对标Allresist 和 Microchem产品库,提供客户定制化开发方案,例如不同粘度(膜厚相关),PMMA树脂分子量覆盖50k-950k(灵敏度/分辨率相关), 分子量分布PDI 1.5-2.5 (分辨率/LWR相关),不同溶剂体系(苯甲醚或氯苯)的产品。
产品覆盖正性、负性光刻胶。具有高膜厚均匀性和高分辨率。
适用于:TSV,RDL,Bump。
KX557 光刻胶
产品体系:I-Line 正性光刻胶 应用领域:IC 耐刻蚀、离子注入 膜厚范围:0.6~1.5μm分辨率:FT@1μm,CD@0.35μm产品特点:高分辨率、高陡直度、低能量
KX150 光刻胶
产品体系:GHI-Line 正性光刻胶 应用领域:先进封装、RDL膜厚范围:5~25μm分辨率:FT@15μm,CD@7μm产品特点:高膜厚、高陡直度、耐电镀
KrF BARC
KF248系列 KF250系列
ArF BARC
KF186系列