产品中心

    飞照新材电子束光刻胶的PMMA系列可对标Allresist 和 Microchem产品库,提供客户定制化开发方案,例如不同粘度(膜厚相关),PMMA树脂分子量覆盖50k-950k(灵敏度/分辨率相关), 分子量分布PDI 1.5-2.5 (分辨率/LWR相关),不同溶剂体系(苯甲醚或氯苯)的产品。

    产品覆盖正性、负性光刻胶。具有高膜厚均匀性和高分辨率。

    适用于:TSV,RDL,Bump。


    KX557 光刻胶

    产品体系:I-Line 正性光刻胶
    应用领域:IC 耐刻蚀、离子注入
    膜厚范围:0.6~1.5μm
    分辨率:FT@1μm,CD@0.35μm
    产品特点:高分辨率、高陡直度、低能量

    KX150 光刻胶

    产品体系:GHI-Line 正性光刻胶
    应用领域:先进封装、RDL
    膜厚范围:5~25μm
    分辨率:FT@15μm,CD@7μm
    产品特点:高膜厚、高陡直度、耐电镀

    KrF BARC

    KF248系列
    KF250系列

    ArF BARC

    KF186系列